IR 적외선 기술을 활용해 클린룸을 항상 깨끗하게 유지하기
반도체 공장에서 일할 때 ‘깨끗함’은 단순한 목표가 아니라 모든 것입니다. 먼지 한 알이나 잔여물이라도 있으면 작업에 지장을 줄 수 있습니다. 그래서 우리는 적외선(IR) 램프를 사용합니다.
이 램프의 특징은 전자기파를 이용해 작업을 수행한다는 점입니다. 강제로 공기를 가열할 필요도 없고, 팬이 공기 중의 먼지를 흩뿌리는 일도 없습니다. 그렇기 때문에 웨이퍼가 오염되지 않고 깨끗하게 유지됩니다.
무연 건조의 비결
예전에는 낮은 온도에서 물질을 건조시키기 위해 화학 용매나 중금속 촉매를 사용했습니다. 하지만 솔직히 말해서 그런 방식은 이미 시대에 뒤떨어졌습니다. 그러한 물질들은 독성이 있으며, 오늘날의 ‘친환경’ 기준에도 부합하지 않습니다.
IR 램프는 이 문제를 다르게 해결합니다. 물질의 분자 진동을 직접 자극하는 것입니다. 우리는 단파 적외선을 사용하는데, 이는 기판을 통과할 수 있습니다. 열은 제품 내부에서 발생하기 때문에, 주변 공기가 뜨거워지는 일도 없습니다. 그렇기 때문에 유해한 첨가제를 사용하지 않아도 빠르고 깨끗하게 건조됩니다.
에너지 절약 및 효율성 향상
대류식 오븐은 번거롭습니다. 방 전체를 가열해야 하므로 에너지 낭비가 심합니다. 반면 IR 램프는 에너지를 정확하게 필요한 곳, 즉 작업물에 집중시킵니다. 즉시 열이 발생하기 때문에 예열 과정이 필요 없습니다. 게다가 HVAC 시스템도 안심할 수 있습니다. 왜냐하면 클린룸에 엄청난 양의 열이 유입되지 않기 때문입니다.
우리는 높은 에너지 밀도를 갖춘 램프를 만들어서 생산 속도를 높일 수 있도록 합니다. 원하는 속도에 맞게 와트수를 조절할 수 있습니다. 다만 주의해야 할 점은, 에너지가 너무 집중되어 있기 때문에 컨베이어의 속도를 잘 조절해야 한다는 것입니다. 부품이 너무 오래 머물면 손상될 수 있습니다.
설치 방법
이 장비는 구식의 열처리 장비를 간단하게 대체할 수 있도록 설계되었습니다. 석영 실드를 사용하기 때문에 가스가 새어나올 걱정이 없습니다. 그래서 환경이 항상 깨끗하게 유지됩니다. 단지 제어 회로에 연결하기만 하면 실시간으로 온도를 확인할 수 있습니다.
가장 좋은 점은 움직이는 부품이 없다는 것입니다. 팬도 없고, 벨트도 없습니다. 그냥 램프의 수명만 확인하면 됩니다. 정말 조용하고 신뢰할 수 있는 장비입니다.