기계를 과도하게 가열하지 마세요: 웨이퍼를 가열하는 더 나은 방법 반도체 제조 과정에서의 문제는, 웨이퍼를 충분히 가열해야 하는 반면, 동시에 값비싼 장비들이 손상되는 것을 막아야 한다는 점입니다. 일반적인 히터들은 열을 사방으로 방출합니다. 이로 인해 발생하는 “낭...

웨이퍼 가열 시 적절한 거리 유지하기 반도체 제조 과정에서는 짧은 파장을 가진 IR 램프를 사용하여 웨이퍼의 온도를 높입니다. 이때 빠른 속도로 온도를 높이는 것이 중요합니다. 최근에는 ‘그린 팩토리’와 탄소 중립을 실현하는 것에 대한 관심이 높아지고 있습니다. 만약...