웨이퍼 가열을 위한 안전 거리

웨이퍼 가열 시 적절한 거리 유지하기 반도체 제조 과정에서는 짧은 파장을 가진 IR 램프를 사용하여 웨이퍼의 온도를 높입니다. 이때 빠른 속도로 온도를 높이는 것이 중요합니다. 최근에는 ‘그린 팩토리’와 탄소 중립을 실현하는 것에 대한 관심이 높아지고 있습니다. 만약...