MEMS 웨이퍼를 손상시키지 않고 건조시키는 방법 MEMS 센서 웨이퍼를 건조시키는 것은 매우 섬세한 작업입니다. 물기를 빨리 제거해야 하지만, 너무 과도하게 처리하면 그 연약한 미세 구조가 파괴될 수 있습니다. 이 문제를 해결하기 위해 우리는 적외선 히터와 금으로...

자, 이제 웨이퍼 경화 공정에 대해 이야기해 봅시다. 대부분의 사람들이 간과하는 비밀이 있습니다. 바로 램프만으로는 충분하지 않다는 것입니다. 세계에서 가장 비싼 적외선 램프를 사용하더라도, 반사판이 제대로 설계되어 있지 않다면 그 에너지는 그냥 낭비될 뿐입니다. 그...

왜 “충분히 좋다”는 것은 웨이퍼 공정용 부품에는 적용될 수 없는가? 웨이퍼 공정용 부품으로 사용될 발열체나 센서를 출하할 때 “무작위 표본 검사”는 전혀 효과가 없습니다. 그런 방식으로는 안 됩니다. 생각해보세요: 고진공 환경에서 조금이라도 절연체에 문제가 생기면...

화학 용액에 웨이퍼를 담가서 가열할 때 안전을 유지하는 방법 솔직히 말해서, 휘발성이 있고 인화성이 강한 용매에 웨이퍼를 담가두고 가열하는 것은 매우 위험한 작업입니다. 조금만 불꽃이 튀거나 가열 요소에 문제가 생기면, 기계가 고장날 뿐만 아니라 폭발까지 일어날 수...

웨이퍼 가열 시 적절한 거리 유지하기 반도체 제조 과정에서는 짧은 파장을 가진 IR 램프를 사용하여 웨이퍼의 온도를 높입니다. 이때 빠른 속도로 온도를 높이는 것이 중요합니다. 최근에는 ‘그린 팩토리’와 탄소 중립을 실현하는 것에 대한 관심이 높아지고 있습니다. 만약...