기계를 과도하게 가열하지 마세요: 웨이퍼를 가열하는 더 나은 방법 반도체 제조 과정에서의 문제는, 웨이퍼를 충분히 가열해야 하는 반면, 동시에 값비싼 장비들이 손상되는 것을 막아야 한다는 점입니다. 일반적인 히터들은 열을 사방으로 방출합니다. 이로 인해 발생하는 “낭...

적절한 열을 조절하는 것: 더 효과적인 웨이퍼 치유를 위한 비결 반도체 웨이퍼를 치유할 때 목표는 간단합니다. 즉, 기판에 손상을 주지 않으면서 열을 정확하게 필요한 곳에 전달하는 것입니다. 우리는 적외선을 이용해 치유를 진행합니다. 왜냐하면 적외선은 오염물질이 없고...

더 중요한 부분에 더 많은 열을 공급하기 위해: 금으로 코팅된 적외선 램프 바이오센서를 제작할 때는 균형을 잘 맞춰야 합니다. 폴리머를 경화시키거나 기판을 준비하기 위해서는 충분한 열이 필요하지만, 너무 많은 열을 가하면 생물학적 층이 손상될 수 있습니다. 정말 섬세...

MEMS 웨이퍼를 손상시키지 않고 건조시키는 방법 MEMS 센서 웨이퍼를 건조시키는 것은 매우 섬세한 작업입니다. 물기를 빨리 제거해야 하지만, 너무 과도하게 처리하면 그 연약한 미세 구조가 파괴될 수 있습니다. 이 문제를 해결하기 위해 우리는 적외선 히터와 금으로...

자, 이제 웨이퍼 경화 공정에 대해 이야기해 봅시다. 대부분의 사람들이 간과하는 비밀이 있습니다. 바로 램프만으로는 충분하지 않다는 것입니다. 세계에서 가장 비싼 적외선 램프를 사용하더라도, 반사판이 제대로 설계되어 있지 않다면 그 에너지는 그냥 낭비될 뿐입니다. 그...

왜 “충분히 좋다”는 것은 웨이퍼 공정용 부품에는 적용될 수 없는가? 웨이퍼 공정용 부품으로 사용될 발열체나 센서를 출하할 때 “무작위 표본 검사”는 전혀 효과가 없습니다. 그런 방식으로는 안 됩니다. 생각해보세요: 고진공 환경에서 조금이라도 절연체에 문제가 생기면...

화학 용액에 웨이퍼를 담가서 가열할 때 안전을 유지하는 방법 솔직히 말해서, 휘발성이 있고 인화성이 강한 용매에 웨이퍼를 담가두고 가열하는 것은 매우 위험한 작업입니다. 조금만 불꽃이 튀거나 가열 요소에 문제가 생기면, 기계가 고장날 뿐만 아니라 폭발까지 일어날 수...

웨이퍼 가열 시 적절한 거리 유지하기 반도체 제조 과정에서는 짧은 파장을 가진 IR 램프를 사용하여 웨이퍼의 온도를 높입니다. 이때 빠른 속도로 온도를 높이는 것이 중요합니다. 최근에는 ‘그린 팩토리’와 탄소 중립을 실현하는 것에 대한 관심이 높아지고 있습니다. 만약...