기계를 과도하게 가열하지 마세요: 웨이퍼를 가열하는 더 나은 방법 반도체 제조 과정에서의 문제는, 웨이퍼를 충분히 가열해야 하는 반면, 동시에 값비싼 장비들이 손상되는 것을 막아야 한다는 점입니다. 일반적인 히터들은 열을 사방으로 방출합니다. 이로 인해 발생하는 “낭...

반도체 글로브박스에서 적외선 히터를 활용하는 방법 만약 여전히 열공기 순환 방식을 사용하고 있다면, 그 과정이 얼마나 번거로운지 잘 알고 있을 것입니다. 히터를 켜고 나서는 기다려야 합니다. 사실상, 웨이퍼가 적절한 온도에 도달할 때까지 글로브박스 내의 모든 공간을...

웨이퍼 가열 시 적절한 거리 유지하기 반도체 제조 과정에서는 짧은 파장을 가진 IR 램프를 사용하여 웨이퍼의 온도를 높입니다. 이때 빠른 속도로 온도를 높이는 것이 중요합니다. 최근에는 ‘그린 팩토리’와 탄소 중립을 실현하는 것에 대한 관심이 높아지고 있습니다. 만약...

기계의 벽면을 더 이상 가열하지 마세요. 반도체 제조 장비를 다룬 적이 있다면 “과도한 열”으로 인한 골칫거리를 잘 알 것입니다. 웨이퍼나 기판을 가열하려고 하는데, 오히려 기계 내부 전체가 뜨거워집니다. 이는 에너지 낭비일 뿐만 아니라, 기계를 만지는 사람들에게 위...

제조 현장에서는 소프트 베이크 과정에서 단 0.5도만의 오차가 발생해도 치명적인 결과를 초래할 수 있습니다. 리소그래피 및 포토레지스트 처리 과정에서는 열 안정성이 단순히 ‘바람직한 요소’가 아니라, 반드시 충족되어야 하는 필수 조건입니다. 우리는 24시간 내내 웨이...