MEMS 웨이퍼를 손상시키지 않고 건조시키는 방법
MEMS 센서 웨이퍼를 건조시키는 것은 매우 섬세한 작업입니다. 물기를 빨리 제거해야 하지만, 너무 과도하게 처리하면 그 연약한 미세 구조가 파괴될 수 있습니다.
이 문제를 해결하기 위해 우리는 적외선 히터와 금으로 코팅된 반사체를 함께 사용합니다. 목표는 에너지 낭비를 줄이고 모든 광자가 웨이퍼에 정확히 도달하도록 하는 것입니다.
왜 금을 사용할까?
대부분의 사람들은 알루미늄 반사체를 사용하지만, 알루미늄은 적외선 에너지를 많이 흡수합니다. 반면, 고순도 금은 근적외선을 다시 원래 위치로 반사하는 데 매우 효과적입니다.
단순히 반사하는 것만이 아닙니다. 금 코팅과 정확한 포물선 형태를 결합함으로써 열을 정확하게 조절할 수 있습니다. 그 결과, 웨이퍼에 집중된 에너지 빔이 전달되어, 램프의 전압을 높일 필요가 없습니다. 이 방식이 더 효율적입니다.
에너지와 열의 균형 맞추기
이 장치를 설정할 때는 속도와 안전성 사이의 균형을 맞추는 것이 중요합니다.
물론, 고출력 램프는 대량 생산에 유용하지만, 엄청난 양의 열을 발생시킵니다. 만약 쿨링 시스템이 제대로 작동하지 않으면, 그 열이 그대로 남아 있게 됩니다. 그러면 웨이퍼가 손상될 위험이 있습니다. 이는 정말 원치 않는 상황입니다.
장치의 지속적인 작동 보장
우리는 이 장치들을 신속하게 교체할 수 있도록 설계했습니다. 아무도 생산 라인이 몇 시간 동안 멈추는 것을 원하지 않습니다.
반사체는 램프의 축과 완벽하게 일치하여 웨이퍼에 ‘차가운 부분’이 생기지 않도록 합니다. 다만, 금은 섬세한 물질이므로, 공장 내에 부식성 가스가 많다면 그 코팅이 손상될 수 있습니다. 따라서 반사체를 보호하거나 주의 깊게 관리해야 합니다. 또한 청소할 때는 반드시 적절한 용제를 사용해야 합니다. 거친 천으로 문지르면 표면이 손상될 수 있으며, 그렇게 되면 효율성도 떨어집니다.