왜 우리는 트롤리 히터의 절연 성능에 그토록 신경을 쓰는가?
반도체 클린룸에서는 “작은” 전기적 결함이라는 것은 존재하지 않습니다. 모든 것이 매우 중요합니다. 트롤리 히터를 제작할 때, 적절한 온도를 유지하는 것만으로는 충분하지 않습니다.
진짜 문제는 열선들이 전기적으로 안정적으로 작동하도록 하는 것입니다. 만약 누전이 발생한다면, 그것은 안전 위험뿐만 아니라 웨이퍼 자체에도 해를 끼칠 수 있습니다.
왜 모든 히팅 튜브를 검사하는가?
우리는 단순한 샘플 검사는 하지 않습니다. 그건 너무 위험합니다. 대신, 모든 히팅 튜브는 공장을 떠나기 전에 반드시 전압 내성 및 절연 저항 테스트를 거칩니다.
그 이유는, 세라믹에 있는 아주 작은 균열이나 코팅에 있는 작은 구멍조차도 아크 현상을 일으킬 수 있기 때문입니다. 전기 아크는 단순히 퓨즈가 나가는 것 이상의 문제를 초래합니다. 이러한 입자들은 실리콘에 치명적인 위협이 됩니다.
QC 과정에서 절연 성능을 최대한 시험함으로써, 생산 중에 히터가 누전을 일으키지 않도록 합니다.
재료와 관련된 어려움들
항상 타협점이 있습니다. 높은 절연 저항을 유지하기 위해 고순도의 알루미나나 특수한 석영 코팅을 사용합니다. 이러한 재료들은 안전성 면에서는 훌륭하지만, 너무 약합니다.
설치할 때 주의해야 합니다. 만약 팀이 튜브에 너무 큰 기계적 스트레스를 가한다면, 튜브가 파손될 수 있습니다. 우리가 힘들게 테스트를 통해 방지하려고 하는 문제가 다시 발생하면 안 됩니다.
설치 시 참고할 사항들
설치할 때는 반드시 접지 상태를 확인해야 합니다. 반드시 안정적인 접지가 되어야 합니다.
아무리 절연 성능이 좋아도, 지속적인 열로 인해 케이블 커버가 손상될 수 있습니다. 우리는 클린룸의 지속적인 열 변화에 견딜 수 있도록 히터를 설계하지만, 트롤리의 전압이 히터의 전압과 정확히 일치하는지 확인하는 것은 사용자의 몫입니다. 만약 그렇지 않다면, 히터가 조기에 고장날 수 있습니다.