무연 반도체 처리를 실제로 가능하게 만드는 방법
업계에서는 ‘친환경적이고 무연인’ 기준을 추구하고 있습니다. 그건 좋은 일이지만, 기존의 방식인 거대한 대류 오븐을 사용하는 것은 문제가 많습니다. 웨이퍼에 약간의 열만 가하기 위해 엄청난 양의 공기를 가열해야 합니다. 이는 비효율적이며 에너지 낭비이기도 합니다. 정말 짜증나는 일입니다.
그래서 우리는 적외선을 활용합니다. 공기를 가열하는 대신, 에너지를 직접 목표물에 전달합니다. 이렇게 하면 훨씬 빠르고 효율적입니다.
열이 실제로 어떻게 작용하는가
생각해보세요. 전체 공간을 가열할 필요가 없습니다. 적외선은 웨이퍼 위의 코팅이나 접착제 속으로 바로 들어가 분자들을 진동시킵니다. 그 결과 화학 반응이 일어나는 것입니다.
가장 좋은 점은, VOC를 배출하는 용매 기반의 처리 방식을 사용할 필요가 없다는 것입니다. 이러한 화학물질을 제거하면 무연 처리에 필요한 엄격한 환경 기준을 충족시키는 것이 훨씬 쉬워집니다.
출력 조절
우리는 특정 파장대의 에너지를 발생시키도록 이러한 시스템을 설계합니다. 이렇게 하면 재료가 흡수할 수 있는 정확한 양의 열을 공급할 수 있습니다.
속도도 매우 빠릅니다. 몇 시간이 아니라 몇 초 만에 처리가 완료됩니다.
장비의 크기도 줄어들어 공간 활용도가 높아집니다. 하지만 단점도 있습니다. 열이 너무 집중되기 때문에 그냥 내버려둘 수는 없습니다. 적절한 냉각 시스템이 필요합니다. 만약 웨이퍼의 유리 전이 온도가 낮다면, 과도한 열로 인해 웨이퍼가 손상될 수 있습니다. 따라서 전력과 속도의 균형을 잘 맞춰야 합니다.
일상적인 이점
적외선을 사용하면 복잡한 가열 요소나 시끄러운 팬을 사용할 필요가 없습니다. 에너지 비용도 크게 줄어듭니다.
연소 가스도 없고, 가열기에 포함된 납 성분도 없습니다. 깨끗하고 간단한 처리 방식입니다. 설정만 해놓으면 바로 처리가 진행됩니다. 이는 친환경적인 건조 방식으로, 복잡한 작업 과정을 거칠 필요가 없습니다.