클린룸 벤치 적외선 램프
IR 적외선 기술을 활용해 클린룸을 항상 깨끗하게 유지하기
반도체 공장에서 일할 때 ‘깨끗함’은 단순한 목표가 아니라 모든 것입니다. 먼지 한 알이나 잔여물이라도 있으면 작업에 지장을 줄 수 있습니다. 그래서 우리는 적외선(IR) 램프를 사용합니다.
이 램프의 특징은...
반도체 청정실용 트롤리 히터
왜 우리는 트롤리 히터의 절연 성능에 그토록 신경을 쓰는가?
반도체 클린룸에서는 “작은” 전기적 결함이라는 것은 존재하지 않습니다. 모든 것이 매우 중요합니다. 트롤리 히터를 제작할 때, 적절한 온도를 유지하는 것만으로는 충분하지 않습니다.
진짜 문제는 열선들이 전기...
청정실 장비 업그레이드 공장
공기를 가열하는 것을 그만두세요: 공장을 더 효율적으로 운영할 수 있는 방법
반제품이 있는 청정실에 대해 솔직히 말하자면, 이러한 곳들은 에너지를 엄청나게 낭비하는 곳입니다. 오랫동안 우리는 몇 개의 웨이퍼를 적절한 온도로 만들기 위해 방 전체를 가열해야 한다는 사실...
클린룸용 적외선 히터
“고온 문제”와의 싸움을 그만두세요.
반도체 제조 공정에서 난방 시스템을 설계해본 적이 있다면, 그 고통이 얼마나 큰지 잘 알 것입니다. 웨이퍼를 원하는 온도까지 데우는 것은 사실 그리 어렵지 않습니다. 진짜 문제는 기계의 나머지 부분들도 함께 과열되는 것을 막는 것...