반도체 청정실용 트롤리 히터

왜 우리는 트롤리 히터의 절연 성능에 그토록 신경을 쓰는가? 반도체 클린룸에서는 “작은” 전기적 결함이라는 것은 존재하지 않습니다. 모든 것이 매우 중요합니다. 트롤리 히터를 제작할 때, 적절한 온도를 유지하는 것만으로는 충분하지 않습니다. 진짜 문제는 열선들이 전기...