공장 건조 기계의 에너지 감사
청결을 유지하기: 웨이퍼 건조에 관한 진실
클래스 100 수준의 청정실에서는 단 한 개의 먼지 입자라도 큰 문제가 됩니다. 가열 요소에서 조금이라도 먼지가 나오면, 그로 인해 웨이퍼 전체가 망가집니다. 그렇게 간단한 원리입니다.
대부분의 사람들은 일반적인 금속 코팅된...
MEMS 센서 웨이퍼 건조 히터
MEMS 웨이퍼를 손상시키지 않고 건조시키는 방법
MEMS 센서 웨이퍼를 건조시키는 것은 매우 섬세한 작업입니다. 물기를 빨리 제거해야 하지만, 너무 과도하게 처리하면 그 연약한 미세 구조가 파괴될 수 있습니다.
이 문제를 해결하기 위해 우리는 적외선 히터와 금으로...