MEMS 센서 웨이퍼 건조 히터

MEMS 웨이퍼를 손상시키지 않고 건조시키는 방법 MEMS 센서 웨이퍼를 건조시키는 것은 매우 섬세한 작업입니다. 물기를 빨리 제거해야 하지만, 너무 과도하게 처리하면 그 연약한 미세 구조가 파괴될 수 있습니다. 이 문제를 해결하기 위해 우리는 적외선 히터와 금으로...