IR 램프가 웨이퍼를 망치는 것을 막으세요
고부하의 웨이퍼 처리 공정을 운영하는 경우라면, 그 고통스러운 상황을 잘 알고 있을 것입니다. IR 램프가 고장 나면, 단순히 생산이 중단되는 것뿐만 아니라 현장이 엉망이 됩니다. 석영관이 파손되면 유리 조각과 텅스텐 필라멘트들이 실리콘 위로 떨어집니다. 한 번만 고장나도 전체 웨이퍼가 쓸모없게 됩니다.
우리는 이러한 문제를 방지하기 위해 컨트롤러와 램프 구조를 특별히 설계했습니다.
열응력 문제 해결
대부분의 램프는 열충격으로 인해 고장납니다. 램프는 갑작스러운 온도 변화를 견딜 수 없기 때문입니다. 그래서 우리는 일반적인 On/Off 스위치를 사용하지 않습니다. 디지털 컨트롤러가 온도 상승 및 하강 과정을 신중하게 관리합니다. 전력을 조절함으로써 석영관이 너무 빠르게 팽창하여 깨지는 것을 방지합니다.
우리는 고순도의 융합 석영을 사용합니다. 이는 열을 더 잘 견딜 수 있기 때문입니다. 하지만 물리법칙은 어쩔 수 없습니다. 2000W의 전력을 짧은 관을 통해 보내면 관의 양쪽 끝이 과열됩니다. 이를 해결하기 위해 스트레스를 분산시키는 보강된 커버를 추가했습니다.
참고로, 냉각팬이 컨트롤러의 출력과 동기화되어 있는지 확인하세요. 그렇지 않으면 밀폐장치가 손상될 수 있습니다.
깨끗한 환경 유지
“2차 오염”이나 이물질을 방지하기 위해, 램프와 웨이퍼 사이에 물리적인 장벽을 만들었습니다. 모든 부품을 석영이나 스테인리스 스틸로 만들어진 보호 커버 안에 넣습니다. 램프가 고장나면 커버가 유리 조각들을 막아줍니다. 그래서 웨이퍼는 영향을 받지 않습니다.
또한, 안전한 모니터링 시스템도 마련되어 있습니다. 컨트롤러는 램프의 저항값을 실시간으로 감시합니다. 만약 저항값이 급격히 상승하거나 하락한다면, 그건 필라멘트가 고장났다는 신호입니다. 이럴 때 시스템은 해당 구역의 전력을 즉시 차단합니다. 이를 통해 다른 램프들이 연쇄적으로 고장나는 것을 막을 수 있습니다.
타협점
문제는, 이러한 보호 커버를 사용하면 IR 광선의 전달이 약간 방해받는다는 것입니다. 그래서 건조 과정을 계속 유지하기 위해 전력 설정을 조금 높여야 할 수도 있습니다. 하지만 솔직히 말해서, 그 정도는 감수할 만한 가치가 있습니다. $10만짜리 웨이퍼를 하나의 고장난 램프 때문에 잃는 것보다는, 몇 초 더 시간을 들이는 편이 낫습니다.