웨이퍼 오염을 사전에 막는 방법 반도체 제조 과정에서 램프가 고장나는 것은 단순히 번거로운 문제나 일시적인 생산 중단을 의미하는 것이 아닙니다. 그것은 진짜 재앙입니다. 고부하 상태에서 석영관이 갑자기 파열된다고 상상해보세요. 유리 조각들과 텅스텐 필라멘트들이 웨이퍼...

바이오 센서를 제작할 때는 온도 조절이 매우 중요합니다. 치료나 증착 과정에서 온도가 몇 도만 변해도 전체 제품이 망가질 수 있습니다. 이는 매우 낮은 효율성과 높은 비용을 초래합니다. 그래서 우리는 고밀도 적외선 시스템을 사용합니다. 대류식 오븐처럼 오랜 시간 동안...

진짜로 중요한 곳에 더 많은 열을 전달하기 웨이퍼 위에 바이오 센서를 제작할 때는 열이 정확하게 표면에 도달해야 합니다. 하지만 일반적인 적외선 램프의 문제점은 에너지가 효율적으로 사용되지 않는다는 것입니다. 에너지의 상당 부분이 그냥 반사되거나 사방으로 흩어집니다....

IR 적외선 기술을 활용해 클린룸을 항상 깨끗하게 유지하기 반도체 공장에서 일할 때 ‘깨끗함’은 단순한 목표가 아니라 모든 것입니다. 먼지 한 알이나 잔여물이라도 있으면 작업에 지장을 줄 수 있습니다. 그래서 우리는 적외선(IR) 램프를 사용합니다. 이 램프의 특징은...

자, 이제 웨이퍼 경화 공정에 대해 이야기해 봅시다. 대부분의 사람들이 간과하는 비밀이 있습니다. 바로 램프만으로는 충분하지 않다는 것입니다. 세계에서 가장 비싼 적외선 램프를 사용하더라도, 반사판이 제대로 설계되어 있지 않다면 그 에너지는 그냥 낭비될 뿐입니다. 그...

금으로 코팅된 근적외선 램프가 고장나는 것을 막아주고, 웨이퍼를 보호해줍니다. 반도체 제조 공정에서는 열이 필요하지만, 그 열은 정확하게 조절되어야 합니다. 바로 이때 금으로 코팅된 근적외선 램프가 유용하게 사용됩니다. 우리는 얇은 금층을 사용하여 열 에너지를 웨이퍼...

더 이상 낭비된 시간을 보내지 마세요: 왜 금 코팅된 적외선 조명이 최고의 선택인가요? 만약 여전히 반도체 가공에 강제 대류 방식을 사용하고 있다면, 그로 인한 문제점을 이미 알고 있을 것입니다. 공기는 열을 전달하는 데 매우 비효율적입니다. 결국 시간의 절반은 기판...

왜 오존이 없는 적외선 램프의 절연 성능을 꼭 확인해야 할까요? 클린룸에서 일하거나 식품을 포장하는 업무를 하신다면, 오존이 없는 적외선 램프가 왜 필요한지 이미 알고 계실 것입니다. 이 램프들은 185nm 파장의 빛을 차단하여 작업 공간에 오존 가스가 남지 않도록...

왜 석영 차폐재의 절연 테스트에 그토록 신경을 쓰는가? 대부분의 사람들은 제조 공장에서 사용되는 석영 유리 차폐재를 단순한 열 차단재로만 여깁니다. 하지만 그 이유는 더 있습니다. 사실 이 차폐재야말로 고전압 전류가 가열 요소에서 기계의 케이스로 직접 흘러 들어가는...

왜 반도체 건조 과정에서 뜨거운 공기 대신 적외선을 사용하는가? 만약 반도체 제조 공장에서 일해본 적이 있다면, 세척 후 건조하는 과정이 얼마나 힘든지 잘 알 것입니다. 오랫동안 우리는 뜨거운 공기를 이용해 건조를 진행해 왔습니다. 하지만 솔직히 말해서, 그 방법은...

서론 사실, 우리는 그냥 또 하나의 램프를 만들려고 한 것이 아닙니다. 우리는 이 Mattson RTP 대체용 램프를, 시중에 있는 고급 램프들과 어깨를 나란히 할 수 있도록 설계했습니다. 솔직히 말해서, 모든 것은 내부에 사용된 재료에 달려 있습니다. 우리는 그들이...

팹에서 포토레지스트를 건조시키는 과정에서는 전체 리소그래피 공정에 필요한 열 조건을 설정합니다. 만약 램프의 성능이 저하되면, 소프트 베이크와 하드 베이크의 온도도 변동하게 되며, 이는 몇 분 안에 알 수 있습니다. CD의 위치가 변하고, 표면에 이물질이 생기며, 결...

리소그래피 공정에서는 오차가 허용되지 않습니다. 단 0.5도만큼의 미세한 온도 변동이라도 포토레지스트의 성질을 바꿔버릴 수 있으며, 그 결과 CD 제어가 어려워집니다. 반대로 과도한 열을 가하면 가장자리에 이물질이 생기거나, 점착력이 떨어지는 문제가 발생할 수 있습니...

리소그래피 플로어 현장에서는 상황을 잘 알고 있을 것이다. 소프트 베이크 온도가 단 한 치의 차이만 있어도 라인폭 변동으로 나타나며, 이는 수율 하락으로 직결된다. 공정 카드 스펙에 정확히 맞는 열이 매번 공급되어야 한다. TEL 히터 램프는 이러한 일관성을 제공하도...

리소그래피 작업장에서는 포토레지스트 베이크가 단순한 열처리 단계를 넘어서 치수 제어 단계이기도 하다. 소프트 베이크 시 1°C의 온도 편차는 치명적인 치수 제어와 사이드월 프로파일에 영향을 미친다. 이에 맞춰 포토레지스트용 적외선 램프를 설계했으며, 웨이퍼 단위 열...