더 이상 오븐을 기다릴 필요 없습니다: 왜 UHP 적외선 램프가 효과적인지
오랫동안 우리는 웨이퍼를 가열하는 데 있어서는 공기 순환에 의존해야 한다고 생각해왔습니다. 하지만 문제는 공기 순환이 매우 느리다는 점입니다. 결국 공기가 따뜻해질 때까지 기다려야 하고, 그 다음에는 그 따뜻한 공기가 웨이퍼의 온도를 높이는 데 시간이 또 걸립니다. 이는 엄청난 시간 낭비입니다.
그래서 우리는 초고순도(UHP) 적외선 램프를 사용하기로 했습니다. 공기를 이용하는 대신, 중간 단계를 생략할 수 있습니다. 결국 중요한 것은 직접적인 열 전달입니다. 추운 날에 햇볕이 피부에 닿는 것과 같습니다. 피부가 따뜻해질 때까지 대기 전체가 따뜻해질 필요는 없습니다. 적외선이 바로 피부에 닿습니다. 마찬가지로, 대류식 오븐은 온도를 안정시키는 데 몇 분이 걸리지만, UHP 램프는 몇 초 만에 목표 온도에 도달합니다. 웨이퍼를 더 많이 처리하고 싶다면, 이렇게 절약된 시간들이 빠르게 누적됩니다.
하지만 아무 램프나 사용할 수는 없습니다.
“가스 방출” 문제도 있습니다. 약간의 금속 오염만 있어도 실리콘이 망가질 수 있습니다. 이를 막기 위해 우리는 고순도의 합성 석영관을 사용합니다. 또한 필라멘트도 철저히 관리해야 합니다. 와트수가 적절하지 않으면 과열이 발생하고, 그로 인해 부품이 손상될 수 있습니다. 속도와 스트레스 사이의 균형을 맞추는 것이 중요합니다.
전환의 현실
만약 공기 순환식 오븐에서 적외선 오븐으로 전환하고 싶다면, 이것이 그냥 간단히 설치하면 되는 것이 아니라는 점을 알아야 합니다. PID 컨트롤러를 조정해야 합니다. 적외선은 거의 즉시 반응하기 때문에, 더 정밀한 조정이 필요합니다. 조심하지 않으면, 시스템이 온도를 인식하기도 전에 목표 온도를 초과할 수 있습니다.
그리고 냉각도 잊으면 안 됩니다. 모든 복사열이 웨이퍼에 도달하는 것은 아닙니다. 일부는 반사됩니다. 냉각 시스템이 적절하지 않으면, 기계 자체가 손상될 수 있습니다.
조금의 설정이 필요하지만, 일단 모든 것이 제대로 설정되면 완전히 다른 경험이 됩니다.