如何让MEMS晶圆在干燥过程中不受损？
干燥MEMS传感器晶圆其实是一项极具挑战性的工作。需要尽快去除水分，但若操作过于粗暴，就会破坏那些脆弱的微结构。
为了解决这个问题，我们采用了红外加热器，并搭配镀金反射器。其目的很明确：避免能量浪费，确保每一束光子都能准确照射到晶圆上。
为什么选黄金？
大多数人会选择铝制反射器，但问题在于铝会吸收大量红外能量。而高纯度黄金则能高效地将近红外光反射回去。
不过，这并不仅仅是为了反射而已。通过将黄金层与精确的抛物面曲线结合在一起，我们可以精准地控制热量的分布。这样，能量就能集中地照射到晶圆上，从而无需提高灯的电压就能完成工作。这才是更聪明的做法。
平衡功率与热量
在设置这些设备时，关键在于如何在速度与安全性之间找到平衡点。
虽然高功率的灯能帮助加快生产速度，但它们也会产生大量热量。如果冷却系统不够完善，这些热量就会积聚起来。这样一来，晶圆的温度就会上升，从而导致晶圆变形。这可不是什么好事。
确保设备持续正常运行
我们设计的这些设备便于更换，因为没人希望生产线因设备故障而停产数小时。
反射器与灯轴的对齐非常精确，这样就能避免晶圆上出现“冷点”。不过需要注意的是，黄金很容易被腐蚀。如果生产环境中存在大量腐蚀性气体，那么镀金层就会受损。因此，要么为反射器提供保护，要么定期检查它们的状况。另外，在清洁时也要小心，务必使用合适的溶剂。如果用粗糙的布料擦拭，就有可能划伤表面，那样一来，设备的效率就会下降。