标签为“距离”的页面如下 晶圆加热系统中的热辐射管理与安全距离控制 停止用传统方式加热芯片：更有效的加热方法 在半导体加工过程中，我们面临着一个难题：需要让芯片变热，但又不能让其他昂贵的设备因此而损坏。 大多数传统的加热器都是向各个方向散发热量，这会导致大量“废热”积聚在设备内部，使设备表面变得过热，甚至可能损坏设备内的敏感部件。显然，这不是理想的做法。 定向加热... 阅读更多 晶圆加热的安全距离 在晶圆红外加热过程中，如何准确控制距离至关重要。在半导体制造中，我们使用短波红外灯来为晶圆加热，而且需要尽快让晶圆达到指定温度。如今，大家都在谈论“绿色工厂”以及实现碳中和的目标。如果这也是你的目标，那么你就必须考虑能源密度的问题。 实际上，关键在于灯与晶圆之间的距离——我们称之为安全距离。如果这... 阅读更多
晶圆加热系统中的热辐射管理与安全距离控制 停止用传统方式加热芯片：更有效的加热方法 在半导体加工过程中，我们面临着一个难题：需要让芯片变热，但又不能让其他昂贵的设备因此而损坏。 大多数传统的加热器都是向各个方向散发热量，这会导致大量“废热”积聚在设备内部，使设备表面变得过热，甚至可能损坏设备内的敏感部件。显然，这不是理想的做法。 定向加热... 阅读更多
晶圆加热的安全距离 在晶圆红外加热过程中，如何准确控制距离至关重要。在半导体制造中，我们使用短波红外灯来为晶圆加热，而且需要尽快让晶圆达到指定温度。如今，大家都在谈论“绿色工厂”以及实现碳中和的目标。如果这也是你的目标，那么你就必须考虑能源密度的问题。 实际上，关键在于灯与晶圆之间的距离——我们称之为安全距离。如果这... 阅读更多
