停止用传统方式加热芯片：更有效的加热方法 在半导体加工过程中，我们面临着一个难题：需要让芯片变热，但又不能让其他昂贵的设备因此而损坏。 大多数传统的加热器都是向各个方向散发热量，这会导致大量“废热”积聚在设备内部，使设备表面变得过热，甚至可能损坏设备内的敏感部件。显然，这不是理想的做法。 定向加热...

在半导体洁净室中使用红外加热器 如果你仍然依赖热空气循环来为工件加热，那你一定知道这有多麻烦。你打开加热器后，就只能等待。实际上，你是在让洁净室内的每一立方英寸的空气都变热，才能让工件达到合适的温度。这个过程既缓慢又低效。 而如果使用红外加热器，情况就完全不同了。它可以直接将能量输送到工件上，无需...

在晶圆红外加热过程中，如何准确控制距离至关重要。在半导体制造中，我们使用短波红外灯来为晶圆加热，而且需要尽快让晶圆达到指定温度。如今，大家都在谈论“绿色工厂”以及实现碳中和的目标。如果这也是你的目标，那么你就必须考虑能源密度的问题。 实际上，关键在于灯与晶圆之间的距离——我们称之为安全距离。如果这...

停止让机器的壁面过热 如果你曾经使用过半导体加工设备，那么一定明白“壁面过热”带来的困扰。你试图加热晶圆或基材，结果却是整个机器内部都变得非常热。这不仅浪费能源，还会让机器的金属外壳变成对操作人员的一种威胁。 问题在于，普通的加热器会将能量向各个方向散发，导致整个机器内部都过度升温，包括那些本不必...

在制造车间里，即使软化烘烤过程中的温度偏差只有半度，也足以导致关键尺寸控制失灵，从而使晶圆报废。在光刻和光阻处理过程中，热稳定性并非可有可无的附加条件——它本身就是整个工艺流程中的关键要素。我们设计的加热系统能够24/7持续工作，确保每次烘烤时的温度都保持一致，没有任何例外。 从技术层面来看，重要...