MEMS传感器晶圆干燥加热器

如何让MEMS晶圆在干燥过程中不受损？ 干燥MEMS传感器晶圆其实是一项极具挑战性的工作。需要尽快去除水分，但若操作过于粗暴，就会破坏那些脆弱的微结构。 为了解决这个问题，我们采用了红外加热器，并搭配镀金反射器。其目的很明确：避免能量浪费，确保每一束光子都能准确照射到晶圆上。 为什么选黄金？ 大多...