
让无铅半导体加工真正可行起来
业界正在努力推行“绿色”和无铅标准。这当然很好,但传统的加热方式——使用大型对流炉——实在麻烦不堪。实际上,只是为了让芯片表面稍微升温一点,就要让整个空间充满热空气。这种方式效率低下,还浪费能源,实在令人恼火。
因此,我们采用了红外线固化技术。这种技术不需要加热空气,而是直接将能量传递到目标物体上。这样就能更高效地实现加热效果。
热量是如何发挥作用的?
可以这样理解:无需整个房间都保持高温状态。红外线可以直接穿透晶圆表面的涂层或粘合剂,使分子振动,从而引发所需的化学反应。
最棒的是,无需再使用那些会释放挥发性有机化合物的溶剂。一旦没有这些化学物质,要满足严格的环保标准就容易多了。
调整功率
我们设计的系统能够发出特定波长的红外线——通常是短波或中波。这样就可以精确控制热量,使其恰好与材料所需的热量相匹配。而且速度很快,几秒钟就能完成处理,而不需要数小时。
这样一来,设备的占用空间也就减少了,这对节省空间来说是个好处。不过,也有需要注意的地方:由于热量非常集中,所以不能简单地“设置好后就不管了”。必须确保冷却系统正常工作。如果晶圆的玻璃化转变温度较低,过高的热量会导致晶圆变形。关键在于找到合适的功率和输送速度的平衡点,以避免损坏晶圆。
日常带来的好处
采用红外线固化技术后,就不用再处理那些笨重的加热元件以及噪音巨大的鼓风机了。同时,每单位产品的能耗也大幅降低。没有燃烧产生的气体,也没有含铅的稳定剂。整个过程干净又高效。只需接通电源,设定好时间,就能在表面直接进行固化处理。这是一种更为简单且环保的干燥方式。