让无铅半导体加工真正可行起来 业界正在努力推行“绿色”和无铅标准。这当然很好，但传统的加热方式——使用大型对流炉——实在麻烦不堪。实际上，只是为了让芯片表面稍微升温一点，就要让整个空间充满热空气。这种方式效率低下，还浪费能源，实在令人恼火。 因此，我们采用了红外线固化技术。这种技术不需要加热空气，...

为什么我们如此重视石英屏蔽罩的绝缘性能测试 大多数人只把制造设备中的石英玻璃屏蔽罩视为一种隔热材料而已。但实际上，这些屏蔽罩才是防止高压电流从加热元件直接流入设备机壳的关键所在。 如果屏蔽罩表面有哪怕微小的裂纹或污渍，那问题就大了。一旦发生接地故障，整个生产线就会停止运转；更糟糕的是，控制板可能会...

停止为空气加热：更高效的工厂运营方式 说实话，半成品生产用的洁净室是非常耗能的。长期以来，我们一直不得不为让几块晶圆达到所需温度而加热整个房间内的空气。这不仅浪费能源，而且实在有些荒谬。 因此，我们开始采用红外线加热技术。与其试图加热整个房间里的空气，不如将热量直接施加在需要加热的物体上——也就是...

高精度卤素加热器：实现晶圆制造中0.1°C精度控制的秘诀 我们设计这些卤素加热器，正是为了满足工业加热领域的严苛要求——在那些“差不多”已经行不通的环境中。在晶圆厂里，哪怕温度波动仅0.1°C，都可能影响生产效率并降低产品良率。因此，我们制造的加热器能够持续保持稳定温度，从而满足现代半导体生产线的...

在光刻车间中，光阻烘烤环节决定了整个光刻流程中的温度控制参数。如果光源性能下降，那么软烘烤和硬烘烤时的温度就会出现偏差，这种情况几分钟之内就能被察觉——此时会出现CD偏移现象，进而导致产品良率下降。我们设计的替代灯丝能够保持稳定的温度曲线，从而确保每次加工时的温度都处于可控范围内。 真正重要的是在...

在制造车间里，工具的维修工作并非按计划进行，而是一种紧急处理措施。一旦涂覆装置、退火模块或粘合头出现故障，每一分钟的延迟都会影响生产效率和进度。如果使用不当的温度，就有可能导致产品损坏或产生杂质，从而需要花费数天时间来处理这些问题。我们设计的红外加热器正是为了解决这些难题：它能快速且精确地提供所需...