保持洁净：关于晶圆干燥的真相 在100级洁净室中，哪怕只有一粒灰尘存在，都会造成灾难性后果。如果加热元件释放出哪怕一点点颗粒物，那整批晶圆就毁了。就是这么简单。 大多数人会使用普通的金属外壳加热器或廉价的陶瓷加热器，但这些材料随着时间推移会释放气体或出现剥落现象。因此，我们选择使用高纯度的合成石英...

如何让MEMS晶圆在干燥过程中不受损？ 干燥MEMS传感器晶圆其实是一项极具挑战性的工作。需要尽快去除水分，但若操作过于粗暴，就会破坏那些脆弱的微结构。 为了解决这个问题，我们采用了红外加热器，并搭配镀金反射器。其目的很明确：避免能量浪费，确保每一束光子都能准确照射到晶圆上。 为什么选黄金？ 大多...