ウェーハ用高精度IRセンサー

化学溶液の中でウェーハを加熱する際の安全性の確保 正直に言えば、揮発性で可燃性のある溶剤の中でウェーハを加熱するのは、非常に危険な作業です。わずかな火花や加熱要素の故障だけで、機械が壊れるだけでなく、爆発につながる可能性もあります。 そのため、IR加熱ランプの密封方法には細心の注意を払っています。...