MEMSウエハーを破壊することなく乾燥させる方法 MEMSセンサーのウエハーを乾燥させるのは、まるで綱渡りのような作業です。水を素早く取り除く必要がありますが、力を入れすぎると、繊細な微細構造が破壊されてしまいます。 この最適なバランスを実現するために、私たちは赤外線ヒーターと金メッキされた反射器...

では、ウェーハの硬化処理について話しましょう。 多くの人が見落としている秘密があります。それは、ランプだけでは不十分だということです。 たとえ世界で最も高価なIRランプを使っていても、反射器の性能が悪ければ、エネルギーが無駄になってしまいます。その熱のほとんどは装置の筐体に漏れてしまい、それは電力...

なぜ「十分であればいい」というのはウェーハ加工用ツールには適用できないのか？ ウェーハ加工用ツール用のヒーターやセンサーを出荷するとき、「ランダムサンプリング」など意味がありません。それではうまくいきません。 考えてみてください。超高真空環境下でわずかな絶縁不良が起きただけで、大惨事につながります...

化学溶液の中でウェーハを加熱する際の安全性の確保 正直に言えば、揮発性で可燃性のある溶剤の中でウェーハを加熱するのは、非常に危険な作業です。わずかな火花や加熱要素の故障だけで、機械が壊れるだけでなく、爆発につながる可能性もあります。 そのため、IR加熱ランプの密封方法には細心の注意を払っています。...

ウェーハの赤外線加熱において適切な距離を選ぶこと 半導体製造では、短波長の赤外線ランプを使ってウェーハを所定の温度まで上げます。そして、できるだけ速くその温度に到達させる必要があります。最近では、「グリーンファクトリー」や炭素中立を目指す動きが盛んです。もしそれが目標なら、エネルギー密度を考慮する...