機械を壊さずにウェーハを加熱する方法：より優れた加熱手段 半導体の製造においては、ウェーハを適切な温度に保つ必要がありますが、同時に高価な機器が溶けてしまうことも避けなければなりません。 一般的なヒーターは、あらゆる方向に熱を放出します。これでは問題です。その「無駄な熱」がチャンバーの壁に吸収され...

適切な加熱を実現する：より良いウェーハ硬化の秘訣 半導体ウェーハを硬化させる際の目的はシンプルです。つまり、基板を損なわずに、必要な場所に正確に熱を与えることです。 私たちは赤外線を利用しています。なぜでしょうか？それは、溶剤や燃焼が不要であり、また、今注目されている環境に優しく、鉛を含まない基準...

もう、クリーンルーム用のカートを待っているだけで時間を無駄にしないでください。 半導体製造ラインでウェハを各工程間で移動させる際、温度を一定に保つために常に苦労していることでしょう。ほとんどの工場では依然として熱風循環方式が使われていますが、正直、これは非効率的です。 強制送風方式では、大量の空気...

半導体用グローブボックスでのIRヒーターの利用 もし、依然として熱風循環方式を使っているのであれば、その不便さはご存知でしょう。ヒーターを作動させてから、待つしかありません。実際には、ワークピースを適切な温度にするために、グローブボックス内のあらゆる場所の空気を加熱しているわけです。これは非常に時...

なぜ、トロリーヒーターにおいて絶縁性能を重視するのか 半導体製造のクリーンルームでは、「小さな」電気的障害というものは許されません。すべてが非常に重要です。トロリーヒーターを作る際、適切な温度に到達することは半分の仕事に過ぎません。 本当の課題は、加熱要素が電気的に安定しているかどうかを確保するこ...

金メッキされた赤外線ランプを故障させないための対策（そしてウェーハを守るために） 半導体製造工場で作業を行う際、熱が必要です。しかも、その熱は正確に制御される必要があります。ここで役立つのが、金メッキされた短波長赤外線ランプです。私たちは、ごく薄い金の層を使用することで、できるだけ多くの熱エネルギ...

クラス100のクリーンルームを実際に清潔な状態に保つ方法 半導体製造の世界では、たった一つのほこり粒や、わずかなガス分子でさえも、ウェハ全体の品質を台無しにしてしまう。本当に厄介です。すべてを正しく行っているのに、わずかな汚れが全てを台無しにしてしまうのです。 多くの場合、問題の原因はヒーターです...

機械の内壁を加熱するのをやめましょう 半導体製造装置を扱ったことがある人なら、「壁が過度に高温になる」という問題の厄介さを知っているはずです。ウェーハや基板を加熱しようとしても、結局は機械の内部全体が過度に熱くなってしまいます。これはエネルギーの無駄遣いです。さらに悪いことに、機械の筐体自体が危険...

有害化学物質を用いた洗浄作業における工学的安全対策 私たちは、工場内で最も過酷な環境に適応するための赤外線ヒーターを開発しました。つまり、可燃性の洗浄剤と一緒に使用される半導体ヒーターです。 通常のヒーターでは、このような環境では機能しません。問題は、どうすれば熱を効果的に供給しつつ、その場所を火...

なぜ中国製の赤外線ヒーターを選ぶのか？ 直接に言いましょう。私たちは、高価な海外製品の代わりに、優れた性能を求めるエンジニアのために半導体ヒーター部品を製造しています。当社の赤外線ヒーターは、高価な輸入品と同じように使えます。正確な加熱が可能なクリーンで精密なスペクトルを得られますが、高額なコスト...

ファブの現場では、温度の変動は単なる偏差というだけでなく、製品の品質を低下させる要因となります。スパッタリングチャンバーの位置が少しでもずれてしまうと、薄膜に応力が生じ、厚みに不均一性が生じます。これは直接、リソグラフィーやエッチングの工程に影響を与えます。私たちは、このような不確実性を排除するた...

製造現場においては、ソフトベイクの際にわずか0.5度の偏差があるだけで、重要な寸法の制御が失われ、ウェーハが廃棄処分となってしまいます。リソグラフィーやフォトレジスト処理においては、熱安定性は「便利な機能」ではなく、プロセスそのものです。私たちは、24時間365日ウェーハを処理する環境に適した加熱...

製造現場では、フォトレジストを加熱する際に0.5℃の温度変動があるだけで、ウェハの線幅が乱れ、多くの不良品が発生してしまいます。温度は単なる変数ではなく、プロセスそのものです。そのため、私たちは半導体製造用の機器用ヒーターを、ソフトベイク、ハードベイク、および後処理の段階でウェハ全体の温度を...