半導体用グローブボックスでのIRヒーターの利用 もし、依然として熱風循環方式を使っているのであれば、その不便さはご存知でしょう。ヒーターを作動させてから、待つしかありません。実際には、ワークピースを適切な温度にするために、グローブボックス内のあらゆる場所の空気を加熱しているわけです。これは非常に時...

機械の内壁を加熱するのをやめましょう 半導体製造装置を扱ったことがある人なら、「壁が過度に高温になる」という問題の厄介さを知っているはずです。ウェーハや基板を加熱しようとしても、結局は機械の内部全体が過度に熱くなってしまいます。これはエネルギーの無駄遣いです。さらに悪いことに、機械の筐体自体が危険...

製造現場においては、ソフトベイクの際にわずか0.5度の偏差があるだけで、重要な寸法の制御が失われ、ウェーハが廃棄処分となってしまいます。リソグラフィーやフォトレジスト処理においては、熱安定性は「便利な機能」ではなく、プロセスそのものです。私たちは、24時間365日ウェーハを処理する環境に適した加熱...