UHP 超高純度 ヒーターランプ

もうオーブンを待つのはやめましょう：なぜUHP赤外線ランプが効果的なのか 長い間、ウェーハを加熱するには熱風循環に頼るしかないと思われてきました。しかし問題は、対流には時間がかかることです。つまり、空気が温まるのを待ち、その後、その空気がウェーハを適切な温度まで温めるのをまた待つ必要があります。こ...