ウェーハ加熱の安全距離

ウェーハの赤外線加熱において適切な距離を選ぶこと 半導体製造では、短波長の赤外線ランプを使ってウェーハを所定の温度まで上げます。そして、できるだけ速くその温度に到達させる必要があります。最近では、「グリーンファクトリー」や炭素中立を目指す動きが盛んです。もしそれが目標なら、エネルギー密度を考慮する...