MEMSウエハーを破壊することなく乾燥させる方法 MEMSセンサーのウエハーを乾燥させるのは、まるで綱渡りのような作業です。水を素早く取り除く必要がありますが、力を入れすぎると、繊細な微細構造が破壊されてしまいます。 この最適なバランスを実現するために、私たちは赤外線ヒーターと金メッキされた反射器...

なぜ水素センサーの製造においてホットエアではなくIRを使うのか もし、水素センサーの製造ラインで仕事をしたことがある人なら、その苦労はよくわかるでしょう。膜の強度や触媒の付着状態を考慮しながら、適切な温度を維持する必要があります。 多くの工場では依然としてホットエアを使用していますが、正直、それは...

なぜ「十分であればいい」というのはウェーハ加工用ツールには適用できないのか？ ウェーハ加工用ツール用のヒーターやセンサーを出荷するとき、「ランダムサンプリング」など意味がありません。それではうまくいきません。 考えてみてください。超高真空環境下でわずかな絶縁不良が起きただけで、大惨事につながります...

化学溶液の中でウェーハを加熱する際の安全性の確保 正直に言えば、揮発性で可燃性のある溶剤の中でウェーハを加熱するのは、非常に危険な作業です。わずかな火花や加熱要素の故障だけで、機械が壊れるだけでなく、爆発につながる可能性もあります。 そのため、IR加熱ランプの密封方法には細心の注意を払っています。...