なぜ半導体用グローブボックスで強制送風方式をやめて赤外線加熱に切り替えているのか もし、高度な処理を行う際にグローブボックスが十分に温まるのを待つという経験があれば、そのイライラ感はよくわかるでしょう。 従来の強制送風方式では、チャンバー内のアルゴンや窒素の分子一つひとつを加熱する必要があります。...

化学溶液の中でウェーハを加熱する際の安全性の確保 正直に言えば、揮発性で可燃性のある溶剤の中でウェーハを加熱するのは、非常に危険な作業です。わずかな火花や加熱要素の故障だけで、機械が壊れるだけでなく、爆発につながる可能性もあります。 そのため、IR加熱ランプの密封方法には細心の注意を払っています。...

無鉛半導体製造プロセスを実際に機能させるために 業界では「グリーン」で無鉛の基準を目指して努力しています。それは素晴らしいことですが、従来の方法、つまり大型の対流式オーブンを使うやり方は問題が多いです。基板にわずかな熱を与えるために、巨大な空間全体を加熱しなければならないのです。これは非効率的で、...

クラス100のクリーンルームを実際に清潔な状態に保つ方法 半導体製造の世界では、たった一つのほこり粒や、わずかなガス分子でさえも、ウェハ全体の品質を台無しにしてしまう。本当に厄介です。すべてを正しく行っているのに、わずかな汚れが全てを台無しにしてしまうのです。 多くの場合、問題の原因はヒーターです...

ウェーハの赤外線加熱において適切な距離を選ぶこと 半導体製造では、短波長の赤外線ランプを使ってウェーハを所定の温度まで上げます。そして、できるだけ速くその温度に到達させる必要があります。最近では、「グリーンファクトリー」や炭素中立を目指す動きが盛んです。もしそれが目標なら、エネルギー密度を考慮する...

なぜ、オゾンフリーの赤外線ランプにおいて絶縁試験が重要なのか もしクリーンルームで働いているか、食品を包装しているのであれば、なぜオゾンフリーの赤外線ランプが最適な選択肢なのか、おそらくすでにご存知でしょう。このランプは185nmの波長の光を除去するため、作業環境にオゾンガスが残ることがありません...

機械の内壁を加熱するのをやめましょう 半導体製造装置を扱ったことがある人なら、「壁が過度に高温になる」という問題の厄介さを知っているはずです。ウェーハや基板を加熱しようとしても、結局は機械の内部全体が過度に熱くなってしまいます。これはエネルギーの無駄遣いです。さらに悪いことに、機械の筐体自体が危険...

なぜ、クォーツシールドの絶縁試験を重視するのか？ 多くの人は、ファブラムライト内にあるクォーツガラス製のシールドを、単なる断熱材としてしか見ていません。しかし、実際にはそうではありません。このシールドこそが、高電圧の電流が加熱要素から直接機械のシャーシへ流れ込むのを防ぐ唯一のものなのです。 表面に...

空気を温めるのをやめよう：より効率的な製造方法 半製品があるクリーンルームについて言えば、実際にはエネルギーの消費が激しい場所です。長年にわたり、数枚のウェーハを所定の温度にするために、部屋全体を温めなければならないという状況が続いてきました。これは無駄なことであり、正直、ちょっと馬鹿げています。...

「ホットウォール」問題との戦いをやめましょう。 半導体製造装置の加熱システムを設計したことがある人なら、その苦労がどれほど大変かわかるでしょう。実際にウエハーを所定の温度まで上げるのは簡単です。本当の問題は、装置の他の部分がオーブンのようになってしまうことを防ぐことです。 一般的な対流型ヒーターは...

なぜ半導体の乾燥において熱風ではなく赤外線を使用するのか もし製造現場で働いたことがあるなら、洗浄後の乾燥作業がいかに大変かをご存知でしょう。長い間、私たちは熱風を利用してきました。しかし正直なところ、これは効率が悪いです。空気が熱を運ぶのを待つ必要があり、時間がかかりすぎます。 そこで私たちは赤...

クリーンルーム内の二酸化炭素排出量を削減する：なぜ真空赤外線加熱が有効なのか 正直言って、半導体製造はエネルギー消費が激しいプロセスです。部品が酸化したり汚染されたりしないようにするためには、真空状態で作業を行わなければならず、その結果、温度制御が非常に困難になります。 多くの場合、抵抗加熱が使わ...

はじめに さっそく本題に入りましょう。半導体製造ラインにおいては、時間こそが最も重要な資源です。大型で重い熱風装置が起動するのを待っているだけでは、無駄なコストがかかってしまいます。 そこで、私たちは何か違ったものを作りました。それがセラミック製のエンドキャップ式IR発光体です。これは直接、高強度...

有害化学物質を用いた洗浄作業における工学的安全対策 私たちは、工場内で最も過酷な環境に適応するための赤外線ヒーターを開発しました。つまり、可燃性の洗浄剤と一緒に使用される半導体ヒーターです。 通常のヒーターでは、このような環境では機能しません。問題は、どうすれば熱を効果的に供給しつつ、その場所を火...

なぜ中国製の赤外線ヒーターを選ぶのか？ 直接に言いましょう。私たちは、高価な海外製品の代わりに、優れた性能を求めるエンジニアのために半導体ヒーター部品を製造しています。当社の赤外線ヒーターは、高価な輸入品と同じように使えます。正確な加熱が可能なクリーンで精密なスペクトルを得られますが、高額なコスト...