無鉛半導体製造プロセスを実際に機能させるために
業界では「グリーン」で無鉛の基準を目指して努力しています。それは素晴らしいことですが、従来の方法、つまり大型の対流式オーブンを使うやり方は問題が多いです。基板にわずかな熱を与えるために、巨大な空間全体を加熱しなければならないのです。これは非効率的で、エネルギーの無駄遣いにもなります。非常に不快です。
だからこそ、私たちは赤外線を利用しています。空気を温める代わりに、エネルギーを直接対象物に送り込むのです。これにより、効率的に加熱が行われます。
熱がどのように作用するか
考え方としては、チャンバー全体を温める必要はありません。赤外線はウェーハ上のコーティングや接着剤に直接届きます。そうすることで分子が振動し、化学反応が起こります。
最良な点は、VOCを排出する溶剤ベースの材料を使わなくて済むことです。こうすれば、厳格な無鉛基準を満たすのがずっと容易になります。
出力の調整
私たちが開発した装置は、特定の波長帯を狙って作られています。通常は短波または中波です。これにより、材料が吸収したい熱量を正確に調整できます。
そして、速度も速いです。数時間ではなく、数秒で済みます。
設備の占有面積も減少し、施設のスペースを有効活用できます。しかし、注意点もあります。熱が集中しすぎるため、「設定して放置する」というわけにはいきません。冷却システムを適切に設計する必要があります。もし基板のガラス転移温度が低ければ、過度な熱によって基板が変形してしまいます。重要なのは、ワット数とベルトの速度を適切に調整して、基板を損傷させないことです。
日々のメリット
赤外線を使用することで、重たくて騒音の大きい加熱要素やファンを使う必要がなくなります。結果として、1単位あたりのエネルギー消費量が大幅に削減されます。
燃焼ガスもなく、ヒーター内に含まれる鉛系安定剤もありません。純粋でクリーンな処理プロセスです。接続してタイマーを設定すれば、表面で直接硬化が進みます。これは、環境に優しい乾燥処理をより簡単に行える方法です。