無鉛半導体製造プロセスを実際に機能させるために 業界では「グリーン」で無鉛の基準を目指して努力しています。それは素晴らしいことですが、従来の方法、つまり大型の対流式オーブンを使うやり方は問題が多いです。基板にわずかな熱を与えるために、巨大な空間全体を加熱しなければならないのです。これは非効率的で、...

なぜ、クォーツシールドの絶縁試験を重視するのか？ 多くの人は、ファブラムライト内にあるクォーツガラス製のシールドを、単なる断熱材としてしか見ていません。しかし、実際にはそうではありません。このシールドこそが、高電圧の電流が加熱要素から直接機械のシャーシへ流れ込むのを防ぐ唯一のものなのです。 表面に...

空気を温めるのをやめよう：より効率的な製造方法 半製品があるクリーンルームについて言えば、実際にはエネルギーの消費が激しい場所です。長年にわたり、数枚のウェーハを所定の温度にするために、部屋全体を温めなければならないという状況が続いてきました。これは無駄なことであり、正直、ちょっと馬鹿げています。...

精密なハロゲンヒーター：ウェーハ製造ラインで0.1℃の安定性を実現するための秘訣 私たちは、産業用加熱の現場において「十分というわけにはいかない」という厳しい要求に応えるために、このようなハロゲンヒーターを開発しました。ウェーハ製造ラインでは、わずか0.1℃の温度変動だけでも生産効率を低下させ、歩...

ファブ内では、フォトレジストのベイク処理の際に、リソグラフィーサイクル全体の熱的条件が決定されます。もしランプの性能が低下し始めると、ソフトベイクやハードベイク時の温度が不安定になり、数分以内にそのことが分かります。CDのずれが生じ、スカムが発生し、結果として歩留まりが悪化します。私たちは、シフト...

製造現場では、工具の修理は予定に組み込まれていない。むしろ、緊急対応が求められる。コーティング装置やアニールモジュール、ボンドヘッドが故障すると、わずかな時間のロスでも生産効率やスケジュールに影響を与える。不適切な温度で加熱すると、部品が変形したり、焦げたり、粒子が発生してしまい、何日もその問題に...