はじめに 実を言うと、私たちは単に「また一つのランプ」を作るつもりはありませんでした。このMattson RTP用のランプは、業界のトップブランド製品に匹敵する性能を持つように設計されています。正直なところ、重要なのはその中に使われている素材です。つまり、彼らが使用しているのと同じ高品質なクォーツ...

精密なハロゲンヒーター：ウェーハ製造ラインで0.1℃の安定性を実現するための秘訣 私たちは、産業用加熱の現場において「十分というわけにはいかない」という厳しい要求に応えるために、このようなハロゲンヒーターを開発しました。ウェーハ製造ラインでは、わずか0.1℃の温度変動だけでも生産効率を低下させ、歩...

ファブ内では、フォトレジストのベイク処理の際に、リソグラフィーサイクル全体の熱的条件が決定されます。もしランプの性能が低下し始めると、ソフトベイクやハードベイク時の温度が不安定になり、数分以内にそのことが分かります。CDのずれが生じ、スカムが発生し、結果として歩留まりが悪化します。私たちは、シフト...

ファブの現場では、温度の変動は単なる偏差というだけでなく、製品の品質を低下させる要因となります。スパッタリングチャンバーの位置が少しでもずれてしまうと、薄膜に応力が生じ、厚みに不均一性が生じます。これは直接、リソグラフィーやエッチングの工程に影響を与えます。私たちは、このような不確実性を排除するた...

製造現場においては、ソフトベイクの際にわずか0.5度の偏差があるだけで、重要な寸法の制御が失われ、ウェーハが廃棄処分となってしまいます。リソグラフィーやフォトレジスト処理においては、熱安定性は「便利な機能」ではなく、プロセスそのものです。私たちは、24時間365日ウェーハを処理する環境に適した加熱...

リソグラフィーの工程においては、わずかなバイアスも許されません。たとえ半度程度のばらつきがあっても、フォトレジストの形状が崩れてしまい、CDの精度を維持するのが難しくなります。一方、過度な加熱を行うと、エッジ部分に不純物が付着したり、接着力が低下したりしてしまいます。これらの問題は、修正が困難なほ...

製造現場では、フォトレジストを加熱する際に0.5℃の温度変動があるだけで、ウェハの線幅が乱れ、多くの不良品が発生してしまいます。温度は単なる変数ではなく、プロセスそのものです。そのため、私たちは半導体製造用の機器用ヒーターを、ソフトベイク、ハードベイク、および後処理の段階でウェハ全体の温度を...

製造現場では、工具の修理は予定に組み込まれていない。むしろ、緊急対応が求められる。コーティング装置やアニールモジュール、ボンドヘッドが故障すると、わずかな時間のロスでも生産効率やスケジュールに影響を与える。不適切な温度で加熱すると、部品が変形したり、焦げたり、粒子が発生してしまい、何日もその問題に...

リソグラフィーの現場での実情 ソフトベイクがわずかに度数がずれるだけで、ライン幅の変動が現れることを知っています。それは歩留まりに影響を与えます。プロセスカードの仕様に正確に、毎回同じ熱が必要です。TELのヒータランプは、その一貫性を提供するように設計されています。 内部で重要な要素 私たちは、短...

300mmラインでのTSV積層は、熱の均一性がわずかにでもずれ始めると崩壊する。フォトレジストのベーク時に1℃の偏差があれば、ビアのプロファイルが狂い、熱サイクルによるパーティクルの発生はロット全体を破壊する可能性がある。この不確実性を排除するためにTSVヒーターを開発した。 技術的な動作原理 石...

リソグラフィフロアにおいて、フォトレジストのベークは単なる熱処理ではなく、寸法管理の工程である。ソフトベークの温度が1℃ずれるだけで、クリティカルディメンションの制御やサイドウォールプロファイルに影響が表れる。当社はこの現実を踏まえ、フォトレジスト用赤外線ランプを設計し、ウェハレベルで±0.1℃の...