Inleiding We hadden geen intentie om gewoon weer een nieuwe lamp te maken. We hebben deze Mattson RTP-vanger ontworpen zodat deze kan concurreren met...

Precise halogeenverwarmers: het geheim voor een stabiliteit van 0,1°C in chipsfabrieken We hebben deze halogeenverwarmers ontwikkeld voor de echte...

Op de productielijn wordt de temperatuur die wordt gebruikt voor het verhitten van de fotoresist bepaald. Hiermee wordt ook het thermische budget...

Op de productielijn zijn thermische afwijkingen geen kleinigheidje – ze kunnen zelfs de kwaliteit van het product verpesten. Een spuitkamer die ook...

Op de productielijn is al een verschil van een halve graad tijdens het verhitten van de wafers voldoende om de controle over de cruciale afmetingen...

Op een lithografische werkplek kun je het je niet veroorloven dat er afwijkingen optreden. Een zachte verhitting die zelfs maar een halve graad...

Op de productielijn is een temperatuurverschil van 0,5°C tijdens het verhitten van de fotoresist al voldoende om de breedte van de lijnen te...

Op de productielijn wordt reparatie van gereedschappen niet als een vast onderdeel van het proces gezien – het is eerder een noodsituatie. Wanneer...

Out on the lithography floor, you know how it goes. A soft bake that’s off by even a fraction of a degree can show up as linewidth variation—and...

Op de 300mm-lijn valt TSV-stapeling uit elkaar zodra de thermische uniformiteit begint af te wijken. Een afwijking van één graad Celsius tijdens het...

Op de lithografievloer is het bakken van photoresist niet slechts een thermische stap, maar een dimensionale. Een afwijking van 1°C tijdens de soft...