Op de productielijn wordt de temperatuur die wordt gebruikt voor het verhitten van de fotoresist bepaald. Hiermee wordt ook het thermische budget voor het hele lithografieproces vastgesteld. Als de lamp niet meer goed functioneert, veranderen de temperaturen tijdens het verhiten. Dit merk je al na enkele minuten: er ontstaan oneffenheden op de wafer, wat weer leidt tot een lagere kwaliteit van het eindproduct. We hebben een vervangend filament ontwikkeld om dit thermische profiel stabiel te houden, zodat dit profiel van cyclus tot cyclus consistent blijft.
Wat echt belangrijk is, is de herhaalbaarheid onder belasting. Het filament is speciaal ontworpen voor kortegolflengte- of middenwegprofielen, zodat de stralingssnelheid constant blijft en er een goede temperatuurregulatie mogelijk is op het oppervlak van de hete plaat. Hierdoor wordt een thermische uniformiteit van ±0,1°C bereikt. De emissie wordt gereguleerd en de geometrie van het kwartsomhulsel blijft consistent. We passen de typen connectors en de afmetingen van het omhulsel aan op de originele apparatuur. De apparatuur werkt ook met standaard stroomvoorzieningen en temperatuurregelaars.
De materialen die worden gebruikt, hebben we gekozen omdat ze weinig gassen afgeven en geen deeltjes veroorzaken. Hierdoor ben je beschermd in schone ruimtes van klasse 1–100, en stijgen de concentraties deeltjes niet.
Waarom dit in de praktijk werkt, is simpel: er wordt een hoge precisie behaald bij het verhitten van de fotoresist, zodat er minder afval en herwerking nodig is. De energieverbruik wordt geoptimaliseerd en de langere levensduur van de lamp betekent dat er minder lampen hoeven te worden vervangen – dit verminderd de onverwachte stilstandtijd. Het resultaat is dat de procesparameters consistent blijven en de kwaliteit van het eindproduct stabiel blijft.
Een paar tips voor gebruik: zorg ervoor dat de lamp op de juiste manier is geplaatst en dat de toerenkracht van de bevestigingsmechanismen binnen de grenzen blijft. Anders kunnen er warmtepunten ontstaan die de uniformiteit verstoren. Controleer de staat van de reflector en maak de contactpunten schoon voordat je de lamp vervangt. Gebruik geen spanning die buiten de specificeerde grenzen valt, want dit verkort de levensduur van de lamp en veroorzaakt thermische afwijkingen. Voor de beste resultaten moet je het filament combineren met regelmatige kalibratie van je temperatuursensoren.