TSV(실리콘 관통 전극) 히터

300mm 라인에서 TSV 스태킹은 열 균일성이 흐트러지는 순간부터 문제가 발생한다. 포토레지스트 베이크 중 단 1도 섭씨의 편차만으로도 비아 프로파일이 왜곡되고, 열 사이클링으로 인한 입자 폭발은 전체 배치를 손상시킬 수 있다. 우리는 이러한 불확실성을 제거하기 위...