진공과 호환되는 적외선 히터

클린룸에서의 탄소 배출 감소: 왜 진공 상태에서의 적외선 가열이 효과적인가? 솔직히 말해서, 반도체 제조는 에너지를 많이 소비하는 공정입니다. 물질이 산화되거나 오염되는 것을 막기 위해 진공 상태에서 작업해야 하므로, 온도 조절이 매우 어렵습니다. 대부분의 경우 저항...