팹 램프용 교체 필라멘트

팹에서 포토레지스트를 건조시키는 과정에서는 전체 리소그래피 공정에 필요한 열 조건을 설정합니다. 만약 램프의 성능이 저하되면, 소프트 베이크와 하드 베이크의 온도도 변동하게 되며, 이는 몇 분 안에 알 수 있습니다. CD의 위치가 변하고, 표면에 이물질이 생기며, 결...