포토레지스트 경화용 적외선 램프
리소그래피 공정에서는 오차가 허용되지 않습니다. 단 0.5도만큼의 미세한 온도 변동이라도 포토레지스트의 성질을 바꿔버릴 수 있으며, 그 결과 CD 제어가 어려워집니다. 반대로 과도한 열을 가하면 가장자리에 이물질이 생기거나, 점착력이 떨어지는 문제가 발생할 수 있습니...
포토레지스트용 최고의 적외선 램프
리소그래피 작업장에서는 포토레지스트 베이크가 단순한 열처리 단계를 넘어서 치수 제어 단계이기도 하다. 소프트 베이크 시 1°C의 온도 편차는 치명적인 치수 제어와 사이드월 프로파일에 영향을 미친다. 이에 맞춰 포토레지스트용 적외선 램프를 설계했으며, 웨이퍼 단위 열...