청결을 유지하기: 웨이퍼 건조에 관한 진실 클래스 100 수준의 청정실에서는 단 한 개의 먼지 입자라도 큰 문제가 됩니다. 가열 요소에서 조금이라도 먼지가 나오면, 그로 인해 웨이퍼 전체가 망가집니다. 그렇게 간단한 원리입니다. 대부분의 사람들은 일반적인 금속 코팅된...

기계의 벽면을 더 이상 가열하지 마세요. 반도체 제조 장비를 다룬 적이 있다면 “과도한 열”으로 인한 골칫거리를 잘 알 것입니다. 웨이퍼나 기판을 가열하려고 하는데, 오히려 기계 내부 전체가 뜨거워집니다. 이는 에너지 낭비일 뿐만 아니라, 기계를 만지는 사람들에게 위...