고반사IR 시스템을 활용한 웨이퍼 경화 효율 최적화
적절한 열을 조절하는 것: 더 효과적인 웨이퍼 치유를 위한 비결 반도체 웨이퍼를 치유할 때 목표는 간단합니다. 즉, 기판에 손상을 주지 않으면서 열을 정확하게 필요한 곳에 전달하는 것입니다. 우리는 적외선을 이용해 치유를 진행합니다. 왜냐하면 적외선은 오염물질이 없고...
웨이퍼 경화 램프용 반사기
자, 이제 웨이퍼 경화 공정에 대해 이야기해 봅시다.
대부분의 사람들이 간과하는 비밀이 있습니다. 바로 램프만으로는 충분하지 않다는 것입니다.
세계에서 가장 비싼 적외선 램프를 사용하더라도, 반사판이 제대로 설계되어 있지 않다면 그 에너지는 그냥 낭비될 뿐입니다. 그...