클래스 100 청정실을 항상 깨끗하게 유지하는 방법 클래스 100 환경에서 진공 챔버 내부를 가열할 때는 단 한 번의 실수도 용납될 수 없습니다. 아주 작은 양의 먼지나 화학물질만 있어도 웨이퍼 전체가 폐기되고 맙니다. 대부분의 일반적인 가열 요소들은 이러한 상황에...

클린룸에서의 탄소 배출 감소: 왜 진공 상태에서의 적외선 가열이 효과적인가? 솔직히 말해서, 반도체 제조는 에너지를 많이 소비하는 공정입니다. 물질이 산화되거나 오염되는 것을 막기 위해 진공 상태에서 작업해야 하므로, 온도 조절이 매우 어렵습니다. 대부분의 경우 저항...