TEL (도쿄일렉트론) 히터 램프

리소그래피 플로어 현장에서는 상황을 잘 알고 있을 것이다. 소프트 베이크 온도가 단 한 치의 차이만 있어도 라인폭 변동으로 나타나며, 이는 수율 하락으로 직결된다. 공정 카드 스펙에 정확히 맞는 열이 매번 공급되어야 한다. TEL 히터 램프는 이러한 일관성을 제공하도...