클린룸용 적외선 히터

“고온 문제”와의 싸움을 그만두세요. 반도체 제조 공정에서 난방 시스템을 설계해본 적이 있다면, 그 고통이 얼마나 큰지 잘 알 것입니다. 웨이퍼를 원하는 온도까지 데우는 것은 사실 그리 어렵지 않습니다. 진짜 문제는 기계의 나머지 부분들도 함께 과열되는 것을 막는 것...