반도체 글로브박스에서 적외선 히터를 활용하는 방법 만약 여전히 열공기 순환 방식을 사용하고 있다면, 그 과정이 얼마나 번거로운지 잘 알고 있을 것입니다. 히터를 켜고 나서는 기다려야 합니다. 사실상, 웨이퍼가 적절한 온도에 도달할 때까지 글로브박스 내의 모든 공간을...

왜 반도체 글로브박스에서 강제 공기 순환 방식 대신 적외선 가열 방식을 사용하는가? 만약 깊은 처리 과정을 경험해본 적이 있다면, 글로브박스가 충분히 가열될 때까지 기다리는 것이 얼마나 짜증나는 일인지 알 것입니다. 기존의 강제 공기 순환 방식은 매우 비효율적입니다....