웨이퍼 공정용 온도 센서

왜 “충분히 좋다”는 것은 웨이퍼 공정용 부품에는 적용될 수 없는가? 웨이퍼 공정용 부품으로 사용될 발열체나 센서를 출하할 때 “무작위 표본 검사”는 전혀 효과가 없습니다. 그런 방식으로는 안 됩니다. 생각해보세요: 고진공 환경에서 조금이라도 절연체에 문제가 생기면...