클린룸 오븐 적외선 히터

파편의 위험을 막아라: 적외선 히터가 고장났을 때 웨이퍼를 깨끗하게 유지하는 방법 대량 생산이 이루어지는 반도체 공장에서 적외선 램프가 파손된다는 것은 단순한 ‘유지보수 문제’가 아닙니다. 그것은 진정한 재앙입니다. 하나의 석영관이 파손되면, 웨이퍼 표면에는 수많은...