반도체 스퍼터링 히터

반도체 생산 공정에서 열 변동은 단순한 편차가 아니라, 제품의 품질을 떨어뜨리는 요인입니다. 스퍼터링 챔버의 위치가 조금이라도 벗어나면 필름에 스트레스가 가해지고 두께가 균일하지 않게 됩니다. 이러한 문제는 리소그래피 및 에칭 공정에도 영향을 미칩니다. 우리는 이러한...