반도체 장비용 예비 부품 히터

팹 현장에서는 포토레지스트를 건조시키는 과정에서 0.5°C만의 온도 변동이 있어도 회로선의 굵기가 제대로 유지되지 않아 많은 양의 웨이퍼가 폐기되게 됩니다. 온도는 단순한 변수가 아니라, 공정 자체입니다. 그래서 우리는 반도체 장비용 부품인 히터를 이러한 현실을 고려...