적절한 열을 조절하는 것: 더 효과적인 웨이퍼 치유를 위한 비결 반도체 웨이퍼를 치유할 때 목표는 간단합니다. 즉, 기판에 손상을 주지 않으면서 열을 정확하게 필요한 곳에 전달하는 것입니다. 우리는 적외선을 이용해 치유를 진행합니다. 왜냐하면 적외선은 오염물질이 없고...

웨이퍼 오염을 사전에 막는 방법 반도체 제조 과정에서 램프가 고장나는 것은 단순히 번거로운 문제나 일시적인 생산 중단을 의미하는 것이 아닙니다. 그것은 진짜 재앙입니다. 고부하 상태에서 석영관이 갑자기 파열된다고 상상해보세요. 유리 조각들과 텅스텐 필라멘트들이 웨이퍼...