Im Produktionsbetrieb ist die Trocknung des Fotolacks der Punkt, an dem der thermische Ablauf für den gesamten Lithografieprozess festgelegt wird. Wenn die Lampe an Leistung verliert, verschieben sich die Temperaturen beim Weich- und Harttrocknen – das wird bereits nach wenigen Minuten erkennbar. Es treten Verzerrungen auf, und die Qualität des Endprodukts leidet darunter. Wir haben einen Ersatzfilament entwickelt, um dieses thermische Profil über viele Prozesszyklen hinweg stabil zu halten.
Was wirklich wichtig ist, ist die Wiederholgenauigkeit unter Belastung. Der Filament ist für Kurzwellen- oder Mittelwellenprofile geeignet – dadurch bleibt die Strahlungsintensität konstant, und es lässt sich eine genaue Temperaturregulierung an der Oberfläche der Heizplatte erreichen. So wird eine thermische Homogenität auf Waechsterebene von ±0,1°C erreicht – schließlich wird die Strahlung kontrolliert und die Geometrie der Quarzkapsel bleibt konstant. Wir passen die Anschlussarten sowie die Abmessungen der Kapsel dem Originalgerät an. Zudem funktioniert das System mit Standard-Energieversorgungen und Temperaturkontrollern.
Die verwendeten Materialien zeichnen sich durch geringes Ausgasen sowie keine Partikelbildung aus – dadurch ist man in Reinräumen der Klasse 1–100 sicher vor Problemen. Die Energieverbrauch wird optimiert, und die längere Lebensdauer bedeutet weniger Lampenwechsel – was wiederum unplanmäßige Stillstände reduziert. Das Ergebnis sind stabile Prozessbedingungen sowie eine konstante Kontrolle der CD-Werte über den gesamten Prozess hinweg.
Ein paar Hinweise zur Inbetriebnahme: Die Orientierung der Lampe muss richtig sein – andernfalls entstehen Hotspots, die die Homogenität beeinträchtigen. Überprüfen Sie außerdem den Zustand des Reflektors sowie die Kontakte im Sockel, bevor Sie die Lampe austauschen. Wenn Sie außerhalb des vorgegebenen Spannungsbereichs arbeiten, verkürzt sich die Lebensdauer der Lampe und es können thermische Schwankungen auftreten. Für beste Ergebnisse sollten Sie den Filament mit einer regelmäßigen Kalibrierung der Temperatursensoren kombinieren.